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真空校验仪、电真空器件测试仪器和偏摆仪在原理和应用上存在明显的区别。
真空校验仪主要用于检测真空系统或设备的性能和质量，它通过一系列传感器和测量装置，对真空环境中的压力、温度、流量等参数进行测量和校准，以确保系统的真空度和性能满足要求，其工作原理通常基于物理和化学反应的原理，通过测量和分析这些参数的变化来评估真空系统的性能。
电真空器件测试仪器则主要用于测试电真空器件的性能参数，电真空器件如电子管等需要在高真空环境下工作，因此其测试需要确保真空环境的稳定性和可靠性，测试仪器通过模拟实际工作条件，对电真空器件的电气性能、物理性能等进行全面测试和分析，其工作原理基于电磁学和电子学的原理，通过测量和分析电流、电压、功率等参数来评估电真空器件的性能。
偏摆仪主要用于测量机械零件的偏摆或摆动，它通过高精度的传感器和测量装置，对机械零件的位移、振动等参数进行测量和分析，以确保零件的加工精度和使用性能，其工作原理基于机械原理和测量技术的结合，通过机械零件的位移变化来评估其性能和质量。
这三种仪器在原理和应用上各有侧重，真空校验仪侧重于真空环境的检测和校准，电真空器件测试仪器侧重于电真空器件的性能测试，而偏摆仪则主要用于机械零件的精度测量。
是基于一些通用的知识和理解，具体的设备原理和操作方法可能会因制造商和应用领域的不同而有所差异，如需更详细和准确的信息，建议查阅相关设备的用户手册或联系制造商进行咨询。